*速突破,纳米之精
91个平行电子束同时成像,每小时产生超过3TB的高对比度、高信噪比的数据。对1mm²面积切片进行4nm像素大小成像仅需不到2分钟。
鼠脑切片。左图使用抚州蔡司抚州扫描电镜MultiSEM706对165μmx143pm面积区域成像,耗时仅需1.5秒。右图为鼠脑切片中30μm区域放大效果。样品由芝加哥大学B.Kasthuri提供。
去加工并抛光后的集成电路,左图使用MultiSEM706在1.5秒内采集图像,覆盖132μmx114pm的六边形视场。右图为集成电路中30μm区域放大效果。样品由加拿大安大略省Techlnsights 公司的 C. Pawlowicz提供。

大样品成像,高通量分析
MultiSEM让大面积样品成像成为可能。兼顾超大样品结构全貌与细节,结合序列切片收集,对完整细胞,大体积组织甚至完整脑组织进行高分辨三维分析。

使用蔡司高速抚州扫描电镜MultiSEM对1mm²人脑皮层组织进行高分辨成像,并对其中的各种细胞结构进行三维重构分析。左图展示了2x3mm²组织平面中锥体神经元的三维重构效果。右图显示了局部体积神经元三维重构。图像由哈佛大学chtman实验室提供,渲染图由D. Berger 制作。

逆向工程应用:使用MultiSEM,以5nm像素尺寸、100ns点驻留时间快速完成对先进制程图形芯片的分层整体扫描,对数层结构的成像数据可进行3D重构处理,实现对版图设计的验证。单次91束同时扫描获取六边形区域(长轴165μm)纳米级分辨率图像只需1.4 秒。

智能控制,化繁为简
革新的ZEN软件操作界面直观易上手、实验流程助手将繁琐的设置变得简单、多重智能辅助功能减轻操作人员工作量、自动光路调节系统无需人为干预即可保证长时间高质量成像。

使用ZEN成像软件控制蔡司抚州扫描电镜MultiSEM。

